Физические процессы в полупроводниковых кристаллах при высокоэнергетической и высокодозной ионной имплантации: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: 01.04.07 / Федотов Сергей Александрович
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Федотов, С. А. |
| Опубликовано: | Минск , 1991 |
| Физические характеристики: |
17 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: | |
| Е-документ: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 2 | Доступно Заказать | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||