Физические процессы в полупроводниковых кристаллах при высокоэнергетической и высокодозной ионной имплантации: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: 01.04.07 / Федотов Сергей Александрович
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Федотов, С. А. |
Опубликовано: | Минск , 1991 |
Физические характеристики: |
17 с. : ил.
|
Язык: | Русский |
Предмет: | |
Е-документ: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 2 , доступно: 2 | Доступно Заказать | |||||||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|