Процессы и устройства СВЧ плазмохимического удаления материалов при формировании изделий электронной техники: Дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук: 05.27.06: Защищена 11.12.03: Утв. 13.05.04 / Бордусов Сергей Валентинович

Guardado en:
Шифр документа: 26Ад5681,
Formato: Диссертации
Autor principal: Бордусов, С. В. (род. 1955)
Publicado: Мн. , 2003
Lenguaje: Русский
Materias:
ЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНИКА
СВЕРХВЫСОКИЕ ЧАСТОТЫ
ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ
ПЛАЗМЕННАЯ ОБРАБОТКА
ЭЛЕКТРОННАЯ ТЭХНІКА
МІКРАЭЛЕКТРОНІКА
ЗВЫШВЫСОКІЯ ЧАСТОТЫ
ПЛАЗМАХІМІЧНЫЯ ПРАЦЭСЫ
ПЛАЗМЕННАЯ АПРАЦОЎКА
МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
Acceso en línea: E-документ

ОФХ диссертаций

Всего : 1 , доступно: 1 Disponible  Hacer reserva

Информация об экземплярах

Шифр Фонд Место нахождения Статус экземпляра Читальный зал
26Ад5681 ОФХ диссертаций (042) 11:4:1:15 СВОБОДЕН Зал диссертаций

Ejemplares similares