Процессы и устройства СВЧ плазмохимического удаления материалов при формировании изделий электронной техники: Дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук: 05.27.06: Защищена 11.12.03: Утв. 13.05.04 / Бордусов Сергей Валентинович
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Бордусов, С. В. (род. 1955) |
| Опубликовано: | Мн. , 2003 |
| Язык: | Русский |
| Предмет: | |
| Е-документ: |
E-документ
|
ОФХ диссертаций
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||