Процессы и устройства СВЧ плазмохимического удаления материалов при формировании изделий электронной техники: Дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук: 05.27.06: Защищена 11.12.03: Утв. 13.05.04 / Бордусов Сергей Валентинович
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Бордусов, С. В. (род. 1955) |
| Published: | Мн. , 2003 |
| Language: | Russian |
| Subjects: | |
| E-document: |
E-document
|
ОФХ диссертаций
| All : 1 , available: 1 | Available Place a Hold | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||