Процессы и устройства СВЧ плазмохимического удаления материалов при формировании изделий электронной техники: Дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук: 05.27.06: Защищена 11.12.03: Утв. 13.05.04 / Бордусов Сергей Валентинович
Захавана ў:
| Тып дакумента: | |
|---|---|
| Аўтар: | Бордусов, С. В. (род. 1955) |
| Апублікавана: | Мн. , 2003 |
| Мова: | Руская |
| Прадмет: | |
| Е-дакумент: |
E-дакумент
|
ОФХ диссертаций
| Усяго : 1 , даступна: 1 | Даступна Замовіць | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||