Фоновые примеси и структурные дефекты в системе полуизолирующая подложка ― эпитаксиальная пленка GaAs и методы их технологического контроля: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 01.04.10 / Станев Николай Стефанов
Enregistré dans:
Format: | |
---|---|
Auteur principal: | Станев, Н. С. |
Publié: | Минск , 1990 |
Description matérielle: |
17 с. : табл.
|
Langue: | Русский |
Sujets: | |
Accès en ligne: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 2 , доступно: 2 | Disponible Réserver | |||||||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|