Фоновые примеси и структурные дефекты в системе полуизолирующая подложка ― эпитаксиальная пленка GaAs и методы их технологического контроля: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 01.04.10 / Станев Николай Стефанов
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Станев, Н. С. |
| Опубликовано: | Минск , 1990 |
| Физические характеристики: |
17 с. : табл.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: | |
| Е-документ: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 2 | Доступно Заказать | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||