Фоновые примеси и структурные дефекты в системе полуизолирующая подложка ― эпитаксиальная пленка GaAs и методы их технологического контроля: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 01.04.10 / Станев Николай Стефанов

Сохранено в:
Шифр документа: Ба236152, 129426/90,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Станев, Н. С.
Опубликовано: Минск , 1990
Физические характеристики: 17 с. : табл.
Язык: Русский
Предмет:
ПОЛУПРОВОДНИКОВАЯ ЭЛЕКТРОНИКА
МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
СВЕРХБОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
ПОЛУПРОВОДНИКИ
АРСЕНИД ГАЛЛИЯ
ЭПИТАКСИАЛЬНЫЕ ПЛЕНКИ
ПОДЛОЖКИ (электроника)
КОНТРОЛЬ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ
структурные дефекты
структурныя дэфекты
Е-документ: E-документ
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br634744
005 20180613100112.0
100 # # $a 20040823d1990 k y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a BY 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Фоновые примеси и структурные дефекты в системе полуизолирующая подложка ― эпитаксиальная пленка GaAs и методы их технологического контроля  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e 01.04.10  $f Станев Николай Стефанов  $g Белорусский государственный университет им. В. И. Ленина 
210 # # $a Минск  $d 1990 
215 # # $a 17 с.  $c табл. 
320 # # $a Библиография: с. 16―17 (7 назв.) 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24602  $a ПОЛУПРОВОДНИКОВАЯ ЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18370  $a МИКРОЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11906  $a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2121092  $a СВЕРХБОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24594  $a ПОЛУПРОВОДНИКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar6882  $a АРСЕНИД ГАЛЛИЯ   $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar39620  $a ЭПИТАКСИАЛЬНЫЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24113  $a ПОДЛОЖКИ (электроника)  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar65279  $a КОНТРОЛЬ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ  $2 DVNLB 
610 0 # $a структурные дефекты 
610 0 # $a структурныя дэфекты 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 621.315.592:661.868.1'046.1.019:620.192(043.3)  $v 4  $z rus 
686 # # $a 29.19.31  $v 5  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.33.31  $v 5  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.09.29  $v 5  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.13.11  $v 5  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.13.81  $v 5  $2 rugasnti 
686 # # $a 01.04.10  $2 nsnrsssr 
700 # 1 $3 BY-SEK-183549  $a Станев  $b Н. С.  $g Николай Стефанов 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20040823  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060316  $g psbo 
856 4 # $u http://content.nlb.by/content/dav/nlb/DDC/AD/Ba236152.pdf 

Схожие документы