Быстрый термический отжиг монокристаллов кремния, легированных ионами III–V групп: (As+, In+, И As+/ In+, P+/ In+): автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: 01.04.10 / Сафронов Николай Викторович

Сохранено в:
Шифр документа: Ба240839,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Сафронов, Н. В.
Опубликовано: Минск , 1991
Физические характеристики: 16 с
Язык: Русский
Предмет:
ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
ПОЛУПРОВОДНИКИ
КРЕМНИЙ
ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ
ДОНОРНЫЕ ПРИМЕСИ (хим.)
ОТЖИГ
КРИСТАЛЛИЧЕСКИЕ РЕШЕТКИ
ДИСЛОКАЦИИ В КРИСТАЛЛАХ
ДИФФУЗИЯ
Е-документ: E-документ
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br608291
005 20181003120548.0
100 # # $a 20040513d1991 k y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a BY 
105 # # $a y m 000yy 
109 # # $a aa  $a ac 
200 1 # $a Быстрый термический отжиг монокристаллов кремния, легированных ионами III–V групп  $e (As+, In+, И As+/ In+, P+/ In+)  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук  $e 01.04.10  $f Сафронов Николай Викторович  $g Министерство народного образования БССР, Белорусский государственный университет им. В. И. Ленина 
210 # # $a Минск  $d 1991 
215 # # $a 16 с 
300 # # $a Библиография: с. 15―16 (14 назв.) 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12158  $a ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15096  $a КРЕМНИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15218  $a КРИСТАЛЛИЧЕСКИЕ РЕШЕТКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar22258  $a ОТЖИГ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2351267  $a ДОНОРНЫЕ ПРИМЕСИ (хим.)  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24594  $a ПОЛУПРОВОДНИКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24604  $a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar9435  $a ДИСЛОКАЦИИ В КРИСТАЛЛАХ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar9565  $a ДИФФУЗИЯ  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 621.315.592.3:661.681:621.793.18(043.3)  $v 4  $z rus 
675 # # $a 669.782.046.516.2-153.63:621.785.4(043.3)  $v 4  $z rus 
686 # # $a 01.04.10  $2 nsnrsssr 
686 # # $a 29.19.11  $v 5  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.19.17  $v 5  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.13.11  $v 5  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.33.31  $v 5  $2 rugasnti 
700 # 1 $3 BY-SEK-179493  $a Сафронов  $b Н. В.  $g Николай Викторович 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20040513  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060316  $g psbo 
856 4 # $u https://elib.nlb.by:8070/viewer?markID=BY-NLB-br608291&fileID=89648 

Схожие документы