|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
001 |
BY-NLB-br608291 |
005 |
20181003120548.0 |
100 |
# |
# |
$a 20040513d1991 k y0rusy50 ||||ca
|
101 |
0 |
# |
$a rus
|
102 |
# |
# |
$a BY
|
105 |
# |
# |
$a y m 000yy
|
109 |
# |
# |
$a aa
$a ac
|
200 |
1 |
# |
$a Быстрый термический отжиг монокристаллов кремния, легированных ионами III–V групп
$e (As+, In+, И As+/ In+, P+/ In+)
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
$e 01.04.10
$f Сафронов Николай Викторович
$g Министерство народного образования БССР, Белорусский государственный университет им. В. И. Ленина
|
210 |
# |
# |
$a Минск
$d 1991
|
215 |
# |
# |
$a 16 с
|
300 |
# |
# |
$a Библиография: с. 15―16 (14 назв.)
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar24604
$a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar24594
$a ПОЛУПРОВОДНИКИ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar15096
$a КРЕМНИЙ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar12158
$a ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2351267
$a ДОНОРНЫЕ ПРИМЕСИ (хим.)
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar22258
$a ОТЖИГ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar15218
$a КРИСТАЛЛИЧЕСКИЕ РЕШЕТКИ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar9435
$a ДИСЛОКАЦИИ В КРИСТАЛЛАХ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar9565
$a ДИФФУЗИЯ
$2 DVNLB
|
615 |
# |
# |
$a Белорусский национальный документ
|
675 |
# |
# |
$a 621.315.592.3:661.681:621.793.18(043.3)
$v 4
$z rus
|
675 |
# |
# |
$a 669.782.046.516.2-153.63:621.785.4(043.3)
$v 4
$z rus
|
686 |
# |
# |
$a 47.33.31
$v 5
$2 rugasnti
|
686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$v 5
$2 rugasnti
|
686 |
# |
# |
$a 29.19.11
$v 5
$2 rugasnti
|
686 |
# |
# |
$a 29.19.17
$v 5
$2 rugasnti
|
686 |
# |
# |
$a 01.04.10
$2 nsnrsssr
|
700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-179493
$a Сафронов
$b Н. В.
$g Николай Викторович
|
801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20040513
$g psbo
|
801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060316
$g psbo
|
856 |
4 |
# |
$u http://content.nlb.by/content/dav/nlb/DDC/AD/Ba240839.pdf
|