Быстрый термический отжиг монокристаллов кремния, легированных ионами III–V групп: (As+, In+, И As+/ In+, P+/ In+): автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: 01.04.10 / Сафронов Николай Викторович
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Сафронов, Н. В. |
| Опубликовано: | Минск , 1991 |
| Физические характеристики: |
16 с
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: | |
| Е-документ: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||