Формирование субмикронного рельефа тонких пленок обратной литографией с использованием металлических и оксидных масок: Дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.27.01: Защищена 30.05.02: Утв. 12.03.03 / Прудник Александр Михайлович

Сохранено в:
Шифр документа: 26Ад4135,
格式: Диссертации
主要作者: Прудник, А. М. (род. 1973)
出版: Мн. , 2002
語言: Русский
主題:
在線閱讀: E-документ

ОФХ диссертаций

Всего : 1 , доступно: 1 可用  預訂

Информация об экземплярах

Шифр Фонд Место нахождения Статус экземпляра Читальный зал
26Ад4135 ОФХ диссертаций (042) 11:4:1:11 СВОБОДЕН Зал диссертаций