Формирование субмикронного рельефа тонких пленок обратной литографией с использованием металлических и оксидных масок: Дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.27.01: Защищена 30.05.02: Утв. 12.03.03 / Прудник Александр Михайлович
Сохранено в:
格式: | |
---|---|
主要作者: | Прудник, А. М. (род. 1973) |
出版: | Мн. , 2002 |
語言: | Русский |
主題: | |
在線閱讀: |
E-документ
|
ОФХ диссертаций
Всего : 1 , доступно: 1 | 可用 預訂 | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|