Формирование субмикронного рельефа тонких пленок обратной литографией с использованием металлических и оксидных масок: Дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.27.01: Защищена 30.05.02: Утв. 12.03.03 / Прудник Александр Михайлович
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Прудник, А. М. (род. 1973) |
| Опубликовано: | Мн. , 2002 |
| Язык: | Русский |
| Предмет: | |
| Е-документ: |
E-документ
|
ОФХ диссертаций
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||