|
|
|
|
|
00000cam0a22000004id4500 |
| 001 |
BY-NLB-br572532 |
| 005 |
20220527163348.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20040121d2002 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a by
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 106 |
# |
# |
$a h
|
| 109 |
# |
# |
$a ab
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Формирование субмикронного рельефа тонких пленок обратной литографией с использованием металлических и оксидных масок
$e Дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук
$e 05.27.01
$e Защищена 30.05.02
$e Утв. 12.03.03
$f Прудник Александр Михайлович
|
| 210 |
# |
# |
$a Мн.
$d 2002
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: л. 130-140 (146 назв.).
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18370
$a МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar24604
$a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33870
$a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33874
$a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar5295505
$a ОБРАТНАЯ ЛИТОГРАФИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33866
$a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ РЕШЕНИЯ
$2 DVNLB
|
| 615 |
# |
# |
$a Белорусский национальный документ
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.77-027.3(043.3)
$v 4
$z rus
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.33.31
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.01
$2 nsnrrb
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-485715
$a Прудник
$b А. М.
$g Александр Михайлович
$f род. 1973
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20040121
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060316
$g psbo
|
| 856 |
4 |
# |
$u http://content.nlb.by/content/dav/nlb/DDC/DD/26Ad4135.pdf
|
