Особенности геттерирования примесей в кислородосодержащем кремнии: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: 01.04.10: 13.02.2004 / Петлицкий Александр Николаевич

Сохранено в:
Шифр документа: 2Ад100299, 2Ад100300,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Петлицкий, А. Н.
Опубликовано: Мн. , 2004
Физические характеристики: 21 c.
Язык: Русский
Предмет:
Е-документ: E-документ
00000cam0a22000004ia4500
001 BY-NLB-br569773
005 20131025090750.0
100 # # $a 20040109d2004 u y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a by 
105 # # $a y 001yy 
109 # # $a aa  $a ac 
200 1 # $a Особенности геттерирования примесей в кислородосодержащем кремнии  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук  $e 01.04.10  $e 13.02.2004  $f Петлицкий Александр Николаевич  $g Белорус. гос. ун-т 
210 # # $a Мн.  $d 2004 
215 # # $a 21 c. 
300 # # $a Рез. парал.: рус., белорус., англ 
300 # # $a Библиогр.: с. 16-18 (20 назв.). 
345 # # $9 100 экз. 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24594  $a ПОЛУПРОВОДНИКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24588  $a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24113  $a ПОДЛОЖКИ (электроника)  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar58309  $a ГЕТТЕРИРОВАНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33558  $a ТЕРМИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24605  $a ПАЎПРАВАДНІКОВЫЯ ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11907  $a ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24595  $a ПАЎПРАВАДНІКІ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24589  $a ПАЎПРАВАДНІКОВЫЯ МАТЭРЫЯЛЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24114  $a ПАДЛОЖКІ (электроніка)  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar25539  $a ПРЫМЕСІ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar58310  $a ГЕТЭРАВАННЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33559  $a ТЭРМІЧНАЯ АПРАЦОЎКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15097  $a КРЭМНІЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24604  $a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11906  $a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar25538  $a ПРИМЕСИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15096  $a КРЕМНИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar87382  $a ДЕФЕКТЫ В КРИСТАЛЛАХ  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 621.382.049.77.002.3:537.311.322(043.3)  $v 3  $z rus 
675 # # $a 548.4(043.3)  $v 3  $z rus 
686 # # $a 29.19.11  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.19.31  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.09.29  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.33.31  $2 rugasnti 
686 # # $a 01.04.10  $2 nsnrrb 
700 # 1 $3 BY-NLB-ar7103445  $a Петлицкий  $b А. Н.  $g Александр Николаевич  $c кандидат физико-математических наук 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20040109  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060316  $g psbo 
856 4 # $u https://elib.nlb.by:8070/viewer?markID=BY-NLB-br569773&fileID=949173