Особенности геттерирования примесей в кислородосодержащем кремнии: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: 01.04.10: 13.02.2004 / Петлицкий Александр Николаевич
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Петлицкий, А. Н. |
| Опубликовано: | Мн. , 2004 |
| Физические характеристики: |
21 c.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: | |
| Е-документ: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 2 | Доступно Заказать | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||