Исследование и разработка процессов ионно-плазменной обработки в технологии создания биполярных БИС: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.12.18 / Гранько Владимир Ильич
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Гранько, В. И. |
Опубликовано: | Мн. , 1982 |
Физические характеристики: |
23 с.
|
Язык: | Русский |
Предмет: | |
Е-документ: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|