Исследование и разработка процессов ионно-плазменной обработки в технологии создания биполярных БИС: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.12.18 / Гранько Владимир Ильич

Сохранено в:
Шифр документа: 2Ад99916,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Гранько, В. И.
Опубликовано: Мн. , 1982
Физические характеристики: 23 с.
Язык: Русский
Предмет:
Е-документ: E-документ

ОФХ отдела книгохранения

Всего : 1 , доступно: 1 Доступно  Заказать

Информация об экземплярах

Шифр Фонд Место нахождения Статус экземпляра Читальный зал
2Ад99916 ОФХ отдела книгохранения (039) 11:4:2:78 СВОБОДЕН Рекомендованный ЧитЗал