Расчет быстродействия, надежности и выбор структурно-компоновочных вариантов вакуумного технологического оборудования: Метод. указания к домаш. заданию по курсу "Оборудование для нанесения и обраб. тонких пленок в вакууме" / Моск. гос. техн. ун-т им.Н.Э.Баумана
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Панфилов, Ю. В. |
| Опубликовано: | М. : Изд-во МГТУ им.Н.Э.Баумана , 1994 |
| Физические характеристики: |
24 с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||