Межкомпонентная изоляция на основе пористого кремния для интегральных микросхем с эпитаксиальными слоями N-типа проводимости: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.27.01: 12.06.01) / Ворозов Николай Николаевич

Сохранено в:
Шифр документа: 2Ад99358,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Ворозов, Н. Н.
Опубликовано: Мн. , 1986
Физические характеристики: 24 с.
Язык: Русский
Предмет:
Е-документ: E-документ
00000cam0a22000004ia4500
001 BY-NLB-br563328
005 20090129113309.0
100 # # $a 20031202d1986 u y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a by 
105 # # $a y 001yy 
109 # # $a aa  $a ac 
200 1 # $a Межкомпонентная изоляция на основе пористого кремния для интегральных микросхем с эпитаксиальными слоями N-типа проводимости  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук  $e 05.27.01  $e 12.06.01)  $f Ворозов Николай Николаевич  $g Мин. радиотехн. ин-т 
210 # # $a Мн.  $d 1986 
215 # # $a 24 с. 
300 # # $a Библиогр.: с. 22-24 (25 назв.) 
300 # # $a Для служ. пользования. 
345 # # $9 100 экз. 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2105390  $a БОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2121092  $a СВЕРХБОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15096  $a КРЕМНИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11387  $a ИЗОЛЯЦИЯ (техн.)  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2105397  $a ВЯЛІКІЯ ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2121097  $a ЗВЫШВЯЛІКІЯ ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11907  $a ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15097  $a КРЭМНІЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11388  $a ІЗАЛЯЦЫЯ (тэхн.)  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11906  $a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
675 # # $a 621.382.049.77.048(043.3)  $v 3  $z rus 
686 # # $a 47.33.31  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.13.11  $2 rugasnti 
686 # # $a 05.27.01  $2 nsnrrb 
700 # 1 $3 BY-SEK-493899  $a Ворозов  $b Н. Н.  $g Николай Николаевич 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20031202  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060316  $g psbo 
856 4 # $u http://content.nlb.by/content/dav/nlb/DDC/AD/2ad99358.pdf