Межкомпонентная изоляция на основе пористого кремния для интегральных микросхем с эпитаксиальными слоями N-типа проводимости: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.27.01: 12.06.01) / Ворозов Николай Николаевич

Сохранено в:
Шифр документа: 2Ад99358,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Ворозов, Н. Н.
Опубликовано: Мн. , 1986
Физические характеристики: 24 с.
Язык: Русский
Предмет:
Е-документ: E-документ

ОФХ отдела книгохранения

Всего : 1 , доступно: 1 Доступно  Заказать

Информация об экземплярах

Шифр Фонд Место нахождения Статус экземпляра Читальный зал
2Ад99358 ОФХ отдела книгохранения (039) 11:4:2:78 СВОБОДЕН Рекомендованный ЧитЗал