Исследование методов и разработка специального технологического оборудования для формирования структур БИС на пластинах больших диаметров: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.12.18: 00.00.1981 / Мальто Владимир Иванович
Zapisane w:
Format: | |
---|---|
1. autor: | Мальто, В. И. |
Wydane: | Мн. , 1981 |
Opis fizyczny: |
22 с.
|
Język: | Русский |
Hasła przedmiotowe: | |
Dostęp online: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 1 , доступно: 1 | Dostępne Zamów | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|