Исследование методов и разработка специального технологического оборудования для формирования структур БИС на пластинах больших диаметров: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.12.18: 00.00.1981 / Мальто Владимир Иванович

Сохранено в:
Шифр документа: 2Ад98321,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Мальто, В. И.
Опубликовано: Мн. , 1981
Физические характеристики: 22 с.
Язык: Русский
Предмет:
Е-документ: E-документ

ОФХ отдела книгохранения

Всего : 1 , доступно: 1 Доступно  Заказать

Информация об экземплярах

Шифр Фонд Место нахождения Статус экземпляра Читальный зал
2Ад98321 ОФХ отдела книгохранения (039) 11:4:2:78 СВОБОДЕН Рекомендованный ЧитЗал