Исследование методов и разработка специального технологического оборудования для формирования структур БИС на пластинах больших диаметров: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.12.18: 00.00.1981 / Мальто Владимир Иванович
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Мальто, В. И. |
Опубликовано: | Мн. , 1981 |
Физические характеристики: |
22 с.
|
Язык: | Русский |
Предмет: | |
Е-документ: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|