Исследование методов и разработка специального технологического оборудования для формирования структур БИС на пластинах больших диаметров: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.12.18: 00.00.1981 / Мальто Владимир Иванович

Сохранено в:
Шифр документа: 2Ад98321,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Мальто, В. И.
Опубликовано: Мн. , 1981
Физические характеристики: 22 с.
Язык: Русский
Предмет:
Е-документ: E-документ
00000cam0a22000004ia4500
001 BY-NLB-br555822
005 20080411133601.0
100 # # $a 20031028d1981 u y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a by 
105 # # $a y 001yy 
109 # # $a aa  $a ac 
200 1 # $a Исследование методов и разработка специального технологического оборудования для формирования структур БИС на пластинах больших диаметров  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук  $e 05.12.18  $e 00.00.1981  $f Мальто Владимир Иванович  $g Ин-т электроники АН БССР 
210 # # $a Мн.  $d 1981 
215 # # $a 22 с. 
300 # # $a Библиогр.: с. 21-22 
300 # # $a Для служ. пользования. 
345 # # $9 90 экз. 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2105390  $a БОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11906  $a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2105397  $a ВЯЛІКІЯ ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33891  $a ТЭХНАЛАГІЧНАЕ АБСТАЛЯВАННЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33890  $a ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11907  $a ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
675 # # $a 621.382.049.771.14.002(043.3)  $v 3  $z rus 
686 # # $a 47.33.31  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.13.11  $2 rugasnti 
686 # # $a 05.12.18  $2 nsnrrb 
700 # 1 $3 BY-SEK-483969  $a Мальто  $b В. И.  $g Владимир Иванович 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20031028  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060316  $g psbo 
856 4 # $u http://content.nlb.by/content/dav/nlb/DDC/AD/2ad98321.pdf