Разработка технологического процесса создания крупноформатных алюминиевых анодированных подложек для высокоинтегрированных микроэлектронных устройств: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.27.01 / Пиенко Константин Сергеевич
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Пиенко, К. С. |
| Опубликовано: | Мн. , 1987 |
| Физические характеристики: |
24 с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: | |
| Е-документ: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||