Физико-химические и технологические основы получения полиимидных структур для микроэлектронных устройств, устройств микромеханики и микросенсорики: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук: 05.27.01 ; 05.27.06 / Жуков Андрей Александрович
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Жуков, А. А. |
| Опубликовано: | М. , 2003 |
| Физические характеристики: |
52 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||