Диффузия, сегрегация и электрическая активация легирующих примесей в диффузионных и имплантированных слоях кремния: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра физ.-мат. наук: 01.04.10 / Александров Олег Викторович
Guardado en:
| Formato: | |
|---|---|
| Autor principal: | Александров, О. В. |
| Publicado: | СПб. , 2003 |
| Descripción Física: |
32 с.
|
| Lenguaje: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Disponible Hacer reserva | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||