Диффузия, сегрегация и электрическая активация легирующих примесей в диффузионных и имплантированных слоях кремния: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра физ.-мат. наук: 01.04.10 / Александров Олег Викторович
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Александров, О. В. |
| Опубликовано: | СПб. , 2003 |
| Физические характеристики: |
32 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||