|
|
|
|
|
00000cam0a22000004ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br480361 |
| 005 |
20201105132044.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20030515d2003 u y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 105 |
# |
# |
$a a 001yy
|
| 109 |
# |
# |
$a aa
$a ac
|
| 200 |
1 |
# |
$a Диффузия, сегрегация и электрическая активация легирующих примесей в диффузионных и имплантированных слоях кремния
$e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра физ.-мат. наук
$e 01.04.10
$f Александров Олег Викторович
$g [С.-Петерб. гос. электротехн. ун-т "ЛЭТИ" им. В.И.Ульянова (Ленина)]
|
| 210 |
# |
# |
$a СПб.
$d 2003
|
| 215 |
# |
# |
$a 32 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 29-32
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.31
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 01.04.10
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-557257
$a Александров
$b О. В.
$g Олег Викторович
$c доктор физико-математических наук
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20030515
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060316
$g psbo
|
