Разработка и исследование методов и средств повышения технического уровня элементной базы вакуумных систем и эксплуатационых характеристик промышленного оборудования тонкопленочной технологии: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.27.06 / Капустин Евгений Николаевич
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Капустин, Е. Н. |
| Опубликовано: | М. , 2003 |
| Физические характеристики: |
20 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||