|
|
|
|
|
00000cam0a22000004ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br476288 |
| 005 |
20070615192101.8 |
| 100 |
# |
# |
$a 20030423d2003 u y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a ru
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 001yy
|
| 109 |
# |
# |
$a aa
$a ac
|
| 200 |
1 |
# |
$a Разработка и исследование методов и средств повышения технического уровня элементной базы вакуумных систем и эксплуатационых характеристик промышленного оборудования тонкопленочной технологии
$e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук
$e 05.27.06
$f Капустин Евгений Николаевич
$g [ОАО "Вакууммаш" (г. Казань)]
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$d 2003
|
| 215 |
# |
# |
$a 20 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 20 (6 назв.).
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 81.29.31
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.16
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.06
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-555998
$a Капустин
$b Е. Н.
$g Евгений Николаевич
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20030423
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060316
$g psbo
|
