Самоорганизация многослойных металлических структур для контактных систем СУБ-100 НМ КМОП ИС: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: 05.27.01 / Хорин Иван Анатольевич

Сохранено в:
Шифр документа: 2Ад85324,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Хорин, И. А.
Опубликовано: М. , 2002
Физические характеристики: 27 с.
Язык: Русский
00000cam0a22000004ia4500
001 BY-NLB-br463109
005 20070615192054.5
100 # # $a 20030226d2002 u y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
105 # # $a a m 001yy 
109 # # $a aa  $a ac 
200 1 # $a Самоорганизация многослойных металлических структур для контактных систем СУБ-100 НМ КМОП ИС  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук  $e 05.27.01  $f Хорин Иван Анатольевич  $g [Физ.-техн. ин-т Рос. акад. наук] 
210 # # $a М.  $d 2002 
215 # # $a 27 с. 
300 # # $a Библиогр.: с. 25-27 (14 назв.). 
686 # # $a 29.19.16  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.33.31  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.13.33  $2 rugasnti 
686 # # $a 05.27.01  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-SEK-554877  $a Хорин  $b И. А.  $g Иван Анатольевич 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20030226  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060316  $g psbo