Самоорганизация многослойных металлических структур для контактных систем СУБ-100 НМ КМОП ИС: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: 05.27.01 / Хорин Иван Анатольевич
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Хорин, И. А. |
| Опубликовано: | М. , 2002 |
| Физические характеристики: |
27 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||