Элементная база и технология изготовления кремниевых микроэлектромеханических систем: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук: 05.27.01 / Шелепин Николай Алексеевич
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Шелепин, Н. А. |
| Опубликовано: | М. , 2002 |
| Физические характеристики: |
38 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||