Микроструктура дефектов в имплантированных ионами высоких энергий слоях кремния при различных температурах отжига в вакууме / В.С.Вариченко, П.И.Гайдук, А.Ю.Дидык, Н.М.Казючиц

Сохранено в:
Шифр документа: 1Ок68825(ДХ),
Вид документа: Книги
Опубликовано: Дубна : ОИЯИ , 1995
Физические характеристики: 8 с.
Язык: Русский
Серия: Сообщения Объединенного института ядерных исследований Р14-95-74
Предмет:
ПОЛУПРОВОДНИКИ
ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ
МОНОКРИСТАЛЛЫ
КРЭМНІЙ
ПАЎПРАВАДНІКІ
ІОННАЯ ІМПЛАНТАЦЫЯ
МОНАКРЫШТАЛІ
КРЕМНИЙ
ДЕФЕКТЫ В КРИСТАЛЛАХ
ВАКУУМНЫЙ ОТЖИГ
00000cam0a22000004ib4500
001 BY-NLB-br46147
005 20210531120022.0
010 # # $d 390 р. 
100 # # $a 19930625d1995 u y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
105 # # $a a 000yy 
109 # # $a aa 
200 1 # $a Микроструктура дефектов в имплантированных ионами высоких энергий слоях кремния при различных температурах отжига в вакууме  $f В.С.Вариченко, П.И.Гайдук, А.Ю.Дидык, Н.М.Казючиц 
210 # # $a Дубна  $c ОИЯИ  $d 1995 
215 # # $a 8 с. 
225 1 # $a Сообщения Объединенного института ядерных исследований  $v Р14-95-74 
300 # # $a Библиогр.: с. 6 (5 назв.). 
345 # # $9 300 экз. 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24594  $a ПОЛУПРОВОДНИКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12158  $a ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18851  $a МОНОКРИСТАЛЛЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15097  $a КРЭМНІЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24595  $a ПАЎПРАВАДНІКІ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12159  $a ІОННАЯ ІМПЛАНТАЦЫЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18852  $a МОНАКРЫШТАЛІ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15096  $a КРЕМНИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar87382  $a ДЕФЕКТЫ В КРИСТАЛЛАХ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar14004039  $a ВАКУУМНЫЙ ОТЖИГ  $2 DVNLB 
675 # # $a 537.311.322:548.3  $v 3  $z rus 
675 # # $a 537.311.322:539.1.04  $v 3  $z rus 
686 # # $a 29.19.31  $2 rugasnti 
686 # # $a 31.15.17  $2 rugasnti 
701 # 1 $3 BY-SEK-216878  $a Вариченко  $b В. С.  $g Валерий Сергеевич  $c кандидат физико-математических наук  $f род. 1956 
701 # 1 $3 BY-SEK-503770  $a Гайдук  $b П. И.  $g Петр Иванович  $c доктор физико-математических наук  $f род. 1958 
701 # 1 $3 BY-SEK-126972  $a Дидык  $b А. Ю.  $g Александр Юрьевич  $c доктор физико-математических наук  $f род. 1952 
701 # 1 $3 BY-SEK-216880  $a Казючиц  $b Н. М.  $g Николай Михайлович  $c физик 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 19930625  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060314  $g psbo 

Схожие документы