Микроструктура дефектов в имплантированных ионами высоких энергий слоях кремния при различных температурах отжига в вакууме / В.С.Вариченко, П.И.Гайдук, А.Ю.Дидык, Н.М.Казючиц
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Опубликовано: | Дубна : ОИЯИ , 1995 |
| Физические характеристики: |
8 с.
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Сообщения Объединенного института ядерных исследований
Р14-95-74 |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||