Импульсная плазменная очистка технологических сред от микробиологических объектов в производстве изделий микро- и наноэлектроники: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.27.01 / Савкин Алексей Владимирович
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Савкин, А. В. |
| Опубликовано: | М. , 2002 |
| Физические характеристики: |
24 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||