Технологические основы производства кремниевых пластин и структур для интегральных схем и детекторов ядерных частиц: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук: специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Козлов Юрий Федорович
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Козлов, Ю. Ф. |
| Published: | Москва , 2002 |
| Physical Description: |
43 с. : ил.
|
| Language: | Russian |
| Subjects: |
ОФХ отдела книгохранения
| All : 1 , available: 1 | Available Place a Hold | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||