Технологические основы производства кремниевых пластин и структур для интегральных схем и детекторов ядерных частиц: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук: 05.27.06 / Козлов Юрий Федорович

Сохранено в:
Шифр документа: 2Ад78449,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Козлов, Ю. Ф.
Опубликовано: М. , 2002
Физические характеристики: 43 с.
Язык: Русский