Технологические основы производства кремниевых пластин и структур для интегральных схем и детекторов ядерных частиц: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук: 05.27.06 / Козлов Юрий Федорович
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Козлов, Ю. Ф. |
| Опубликовано: | М. , 2002 |
| Физические характеристики: |
43 с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |