Технологические основы производства кремниевых пластин и структур для интегральных схем и детекторов ядерных частиц: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук: 05.27.06 / Козлов Юрий Федорович
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Козлов, Ю. Ф. |
Опубликовано: | М. , 2002 |
Физические характеристики: |
43 с.
|
Язык: | Русский |