Технологические основы производства кремниевых пластин и структур для интегральных схем и детекторов ядерных частиц: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук: специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Козлов Юрий Федорович
Gespeichert in:
| Format: | |
|---|---|
| 1. Verfasser: | Козлов, Ю. Ф. |
| Veröffentlicht: | Москва , 2002 |
| Beschreibung: |
43 с. : ил.
|
| Sprache: | Русский |
| Schlagworte: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Verfügbar Bestellen | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||