Технологические основы производства кремниевых пластин и структур для интегральных схем и детекторов ядерных частиц: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук: специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Козлов Юрий Федорович
Захавана ў:
| Тып дакумента: | |
|---|---|
| Аўтар: | Козлов, Ю. Ф. |
| Апублікавана: | Москва , 2002 |
| Фізіч. характарыстыкі: |
43 с. : ил.
|
| Мова: | Руская |
| Прадмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Усяго : 1 , даступна: 1 | Даступна Замовіць | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||