Технологические основы производства кремниевых пластин и структур для интегральных схем и детекторов ядерных частиц: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук: специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Козлов Юрий Федорович

Сохранено в:
Шифр документа: 2Ад78449,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Козлов, Ю. Ф.
Опубликовано: Москва , 2002
Физические характеристики: 43 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
ДЕТЕКТОРЫ ИОНИЗИРУЮЩИХ ИЗЛУЧЕНИЙ
КРЕМНИЕВЫЕ ПЛАСТИНЫ
ЭПИТАКСИАЛЬНЫЕ СТРУКТУРЫ
ХИМИКО-МЕХАНИЧЕСКОЕ ПОЛИРОВАНИЕ
ГОМОЭПИТАКСИЯ
ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
МЫШЬЯК
БОР (хим.)
ПЕРЕРАСПРЕДЕЛЕНИЕ
ТЕРМИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА
ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА
КРИСТАЛЛОГРАФИЯ
ЛЕГИРОВАНИЕ
ОТЖИГ
РЕКРИСТАЛЛИЗАЦИЯ
РАДИАЦИОННАЯ СТОЙКОСТЬ
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br438760
005 20241219105404.0
100 # # $a 20021031d2002 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a aa  $a ac 
200 1 # $a Технологические основы производства кремниевых пластин и структур для интегральных схем и детекторов ядерных частиц  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук  $e специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники  $f Козлов Юрий Федорович  $g [НИИ материаловедения] 
210 # # $a Москва  $d 2002 
215 # # $a 43 с.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: с. 37―43 (63 назв.) 
333 # # $a Для служебного пользования 
606 0 # $3 BY-NLB-ar8995  $a ДЕТЕКТОРЫ ИОНИЗИРУЮЩИХ ИЗЛУЧЕНИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2381802  $a КРЕМНИЕВЫЕ ПЛАСТИНЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar8902405  $a ЭПИТАКСИАЛЬНЫЕ СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar4760361  $a ХИМИКО-МЕХАНИЧЕСКОЕ ПОЛИРОВАНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar13824121  $a ГОМОЭПИТАКСИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11906  $a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar19340  $a МЫШЬЯК  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar4405  $a БОР (хим.)  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar23264  $a ПЕРЕРАСПРЕДЕЛЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33558  $a ТЕРМИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar39284  $a ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15210  $a КРИСТАЛЛОГРАФИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15827  $a ЛЕГИРОВАНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar22258  $a ОТЖИГ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar27941  $a РЕКРИСТАЛЛИЗАЦИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar26875  $a РАДИАЦИОННАЯ СТОЙКОСТЬ  $2 DVNLB 
686 # # $a 47.13.11  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.33.31  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 05.27.06  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-NLB-ar1725570  $a Козлов  $b Ю. Ф.  $g Юрий Федорович  $c доктор технических наук 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20021031  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060316  $g psbo 

Схожие документы