|
|
|
|
|
00000cam0a22000004ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br438115 |
| 005 |
20241012161337.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20021029d2002 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a ru
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 001yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Развитие методов зондовой микроскопии для исследования и контроля поверхностей материалов и изделий микроэлектроники
$e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук
$e 05.11.13
$f Лосев Виталий Викторович
$g [Учеб.-науч. центр "Зондовая микроскопия и нанотехнология" Моск. гос. ин-та электрон. техники]
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$d 2002
|
| 215 |
# |
# |
$a 28 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: c. 26-28 (15 назв.).
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18374
$a МИКРОЭЛЕКТРОННАЯ ПРОМЫШЛЕННОСТЬ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18382
$a МИКРОЭЛЕКТРОННЫЕ ИЗДЕЛИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar1951775
$a ПРОИЗВОДСТВЕННЫЙ КОНТРОЛЬ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar3334070
$a КОНТРОЛЯ МЕТОДЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2043573
$a ЗОНДОВАЯ МИКРОСКОПИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar14544
$a КОНТРОЛЬНО-ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЕ ПРИБОРЫ
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.33.37
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.81
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.01.81
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.11.13
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-550254
$a Лосев
$b В. В.
$g Виталий Викторович
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20021029
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060316
$g psbo
|
