Разработка методов проектирования элементов МОЭМС, изготавливаемых по технологии поверхностной микрообработки: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах / Лысенко Игорь Евгеньевич
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Лысенко, И. Е. |
| Опубликовано: | Таганрог , 2002 |
| Физические характеристики: |
22 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |