Разработка методов проектирования элементов МОЭМС, изготаливаемых по технологии поверхностной микрообработки: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.27.01 / Лысенко Игорь Евгеньевич
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Лысенко, И. Е. |
Опубликовано: | Таганрог , 2002 |
Физические характеристики: |
22 с.
|
Язык: | Русский |
Предмет: |