Разработка методов проектирования элементов МОЭМС, изготаливаемых по технологии поверхностной микрообработки: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.27.01 / Лысенко Игорь Евгеньевич
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Лысенко, И. Е. |
| Опубликовано: | Таганрог , 2002 |
| Физические характеристики: |
22 с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |