Научные основы методов контроля высокочистых веществ и безотходных технологий очистки поверхности полупроводниковых структур: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук: специальность 05.11.13 Приборы и методы контроля природной среды, веществ, материалов и изделий / Хаханина Татьяна Ивановна
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Хаханина, Т. И. |
| Опубликовано: | Москва , 2002 |
| Физические характеристики: |
56 с. : ил., табл.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||