|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br434307 |
| 005 |
20240611090907.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20021011d2002 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a aa
$a ac
|
| 200 |
1 |
# |
$a Тонкие пленки углерода: выращивание пучками заряженных частиц, фазообразование, строение и свойства
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
$f Семёнова Ирина Александровна
$g [Бурятский научный центр СО РАН]
|
| 210 |
# |
# |
$a Улан-Удэ
$d 2002
|
| 215 |
# |
# |
$a 24 с.
$c ил., табл.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 22―24 (24 назв.)
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar17342
$a ЭЛЕКТРОННЫЕ МАТЕРИАЛЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar1659663
$a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПЛЕНКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar3211955
$a АЛМАЗОПОДОБНЫЕ ПОЛУПРОВОДНИКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2291006
$a УГЛЕРОДНЫЕ ПЛЕНКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar26709
$a ПУЧКИ ЧАСТИЦ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar4777100
$a МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar6836
$a ГАЗОРАЗРЯДНАЯ ПЛАЗМА
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.09.29
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.33
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.16
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.31
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.06
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-457641
$a Семенова
$b И. А.
$g Ирина Александровна
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20021011
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060316
$g psbo
|
