Тонкие пленки углерода: выращивание пучками заряженных частиц, фазообразование, строение и свойства: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Семёнова Ирина Александровна
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Семенова, И. А. |
| Опубликовано: | Улан-Удэ , 2002 |
| Физические характеристики: |
24 с. : ил., табл.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||