|
|
|
|
|
00000cam0a22000004ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br434020 |
| 005 |
20070615192124.8 |
| 100 |
# |
# |
$a 20021010d2002 u y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a ru
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 001yy
|
| 109 |
# |
# |
$a aa
$a ac
|
| 200 |
1 |
# |
$a Разработка технологии получения и очистки гидридных газов непосредственно в технологических процессах полупроводниковой микроэлектроники
$e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук
$e 05.17.02
$f Лобачев Юрий Анатольевич
$g [Всерос. науч.-исслед. ин-т хим. технологии М-ва Рос. Федерации по атом. энергии (ГУП "ВНИИХТ")]
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$d 2002
|
| 215 |
# |
# |
$a 19 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: c. 18-19 (14 назв.).
|
| 686 |
# |
# |
$a 61.31.49
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.09.49
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.17.02
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-559345
$a Лобачев
$b Ю. А.
$g Юрий Анатольевич
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20021010
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060316
$g psbo
|
