Разработка технологии получения и очистки гидридных газов непосредственно в технологических процессах полупроводниковой микроэлектроники: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.17.02 / Лобачев Юрий Анатольевич
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Лобачев, Ю. А. |
| Опубликовано: | М. , 2002 |
| Физические характеристики: |
19 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||