Стимулирование синтеза диэлектрических слоев в кремнии дальнодействующим ионным облучением: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: 01.04.10 / Марков Кирилл Александрович

Сохранено в:
Шифр документа: 2Ад75171,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Марков, К. А.
Опубликовано: Н. Новгород , 2002
Физические характеристики: 16 с.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a22000004ia4500
001 BY-NLB-br428101
005 20231212150401.0
100 # # $a 20020917d2002 k y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a ru 
105 # # $a a m 001yy 
109 # # $a aa  $a ac 
200 1 # $a Стимулирование синтеза диэлектрических слоев в кремнии дальнодействующим ионным облучением  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук  $e 01.04.10  $f Марков Кирилл Александрович  $g [Нижегор. гос. ун-т им. Н.И.Лобачевского] 
210 # # $a Н. Новгород  $d 2002 
215 # # $a 16 с. 
300 # # $a Библиогр.: с. 14-16 (34 назв.). 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2749267  $a ФИЗИКА ПОЛУПРОВОДНИКОВ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar20812  $a НИТРИД КРЕМНИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1931  $a АЗОТ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar7368  $a ГЕТЕРОСТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2445715  $a СИНТЕЗ (хим.)  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar83377  $a КРЕМНИЙ НА ИЗОЛЯТОРЕ-ТЕХНОЛОГИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12162  $a ИОННО-ЛУЧЕВАЯ ОБРАБОТКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2903524  $a ДАЛЬНОДЕЙСТВИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15212  $a КРИСТАЛЛИЗАЦИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar22258  $a ОТЖИГ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1599505  $a УДЕЛЬНОЕ СОПРОТИВЛЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar53274  $a АРГОН  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12192  $a ИОНЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2118269  $a ГИПЕРЗВУКОВОЕ ТЕЧЕНИЕ  $2 DVNLB 
686 # # $a 29.19.31  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.19.21  $2 rugasnti 
686 # # $a 01.04.10  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-SEK-531558  $a Марков  $b К. А.  $g Кирилл Александрович 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20020917  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060316  $g psbo