Стимулирование синтеза диэлектрических слоев в кремнии дальнодействующим ионным облучением: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: 01.04.10 / Марков Кирилл Александрович
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Марков, К. А. |
| Опубликовано: | Н. Новгород , 2002 |
| Физические характеристики: |
16 с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||